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对于热处理后不再进行机械加工的模具工作面，淬火后尽可能采用真空回火，特别是真空淬火的工件，它可以提高与表面质量相关的机械性能。如疲劳性能、表面光亮度、腐蚀性等。
热处理设备技术是近些年发展起来的一种新型的热处理技术，它所具备的特点，正是模具制造中所迫切需要的，比如防止加氧化和不脱碳、真空脱气或除气，消除氢脆，从而提高材料的塑性、韧性和疲劳强度。按采用的冷却介质不同，真空淬火可分为真空油冷淬火、真空气冷淬火、真空水冷淬火和真空硝盐等温淬火。
热处理主要应用的是真空油冷淬火、真空气冷淬火和真空回火。为保持工件真空加热的优良特性，冷却剂和冷却工艺的选择及制定非常重要，模具淬火过程主要采用油冷和气冷。
热处理过程的计算机模拟技术的成功开发和应用，使得智能化热处理设备成为可能。由于模具生产的小批量、多品种的特性，以及对热处理性能要求高和不允许出现废品的特点，又使得模具的智能化处理成为必须。智能化热处理包括：明确模具的结构、用材、热处理性能要求：模具加热过程温度场、应力场分布的计算机模拟；模具冷却过程温度场、相变过程和应力场分布的计算机模拟；加热和冷却工艺过程的仿真；淬火工艺的制定；热处理的自动化控制技术。